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技術(shù)文章/ article

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  • 2023-03-21

    PEALD系統(tǒng)是一種化學(xué)氣相沉積技術(shù),廣泛應(yīng)用于微電子設(shè)備制造、太陽能電池和納米材料研究等領(lǐng)域。以原子層沉積技術(shù)為基礎(chǔ),通過在反應(yīng)室中交替注入兩種氣體,執(zhí)行反應(yīng)和清洗過程,實(shí)現(xiàn)對表面沉積物的逐層生長。PEALD系統(tǒng)的組成由四個(gè)主要部分構(gòu)成:反應(yīng)室、進(jìn)氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。其中反應(yīng)室是最重要的組成部分,用于承載沉積表面和反應(yīng)氣體。反應(yīng)室具有良好的密封性能,以確保反應(yīng)氣體能夠準(zhǔn)確傳遞到沉積表面。反應(yīng)室內(nèi)部的沉積表面是由基板表面形成的,在表面形成的沉積物層上進(jìn)行PEALD沉積...

  • 2023-02-20

    掩模板清洗機(jī)是一款帶有小占地面積的理想設(shè)備,并且很容易安裝在空間有限的超凈間中。該系列設(shè)備都具有出眾的清洗能力,并可用于非常廣泛的基片。提供了可控的化學(xué)試劑滴膠能力,這使得顆粒從基片表面的去除能力得以進(jìn)一步加強(qiáng)。SWC和LSC具備對點(diǎn)試劑滴膠系統(tǒng),可以zui大程度節(jié)省化學(xué)試劑的用量的。滴膠系統(tǒng)支持可編程的化學(xué)試劑混合能力,提供了可控的化學(xué)試劑在整個(gè)基片上的分布。掩模板清洗機(jī)應(yīng)用:1.帶圖案或不帶圖案的掩模版和晶圓片2.Ge,GaAs以及InP晶圓片清洗3.CMP處理后的晶圓片...

  • 2022-12-28

    原子層沉積設(shè)備是一項(xiàng)沉積薄膜的重要技術(shù),具有廣泛的應(yīng)用。ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性不會(huì)帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應(yīng)將會(huì)帶來非統(tǒng)計(jì)的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無孔的特性,可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實(shí)現(xiàn)到大基片上。原子層沉積設(shè)備的特點(diǎn)1、傳輸管路的優(yōu)化設(shè)計(jì),有效地避免管路堵塞及交叉污染問題2、工業(yè)化級別標(biāo)...

  • 2022-11-15

    進(jìn)口晶圓清洗機(jī)采用旋轉(zhuǎn)噴淋技術(shù)實(shí)現(xiàn)清洗功能,清洗方法是利用所噴液體的溶解作用來溶解硅片表面的污漬,同時(shí)利用高速旋轉(zhuǎn)的離心作用,使溶有雜質(zhì)的液體及時(shí)脫離硅片表面。同時(shí)由于所噴液體與旋轉(zhuǎn)的硅片有較高的相對速度,會(huì)產(chǎn)生較大的沖擊力,實(shí)現(xiàn)清除吸附雜質(zhì)。清洗完成后采用惰性氣體直接干燥,完成對硅片的清洗。進(jìn)口晶圓清洗機(jī)的應(yīng)用:1、帶圖案或不帶圖案的掩模版和晶圓片2、Ge,GaAs以及InP晶圓片清洗3、CMP處理后的晶圓片清洗4、晶圓框架上的切粒芯片清洗5、等離子刻蝕或光刻膠剝離后的清洗...

  • 2022-10-20

    空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備腔體的大致尺寸為:直徑24",長度43"。帶有一個(gè)16"x32"的滑動(dòng)加熱平,可以冷卻到零下100攝氏度。熱真空平臺(tái)也可以加熱到150攝氏度,具有高度的均勻度。在去邊3cm后整個(gè)平臺(tái)的溫度均勻度可達(dá)/-1攝氏度。加熱平臺(tái)安裝在滾軸上,可以方便拉出至大到75%的長度,腔體提供20個(gè)RF連接頭,尺寸為2.92mm,可以支持高達(dá)40GHz的頻率。腔體的兩側(cè)分別有一個(gè)50針的引線。真空系統(tǒng)包含HiPace1200(1000L/s抽速)渦輪分子泵以及一個(gè)ISP500...

  • 2022-09-20

    RIE刻蝕機(jī)是干蝕刻的一種,這種蝕刻的原理是,當(dāng)在平板電極之間施加10~100MHZ的高頻電壓(RF,radiofrequency)時(shí)會(huì)產(chǎn)生數(shù)百微米厚的離子層(ionsheath),在其中放入試樣,離子高速撞擊試樣而完成化學(xué)反應(yīng)蝕刻,此即為RIE(ReactiveIonEtching)。因此為了得到高速而垂直的蝕刻面,經(jīng)加速的多數(shù)離子不能與其他氣體分子等碰撞,而直接向試樣撞擊。為達(dá)到此目的,必須對真空度,氣體流量,離子加速電壓等進(jìn)行最佳調(diào)整,同時(shí),為得到高密度的等離子體,需用...

  • 2022-08-31

    Nano-Master的遠(yuǎn)程微波等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)應(yīng)用范圍廣泛,包含:基片或粉體的等離子誘導(dǎo)表面改性等離子清洗粉體或顆粒表面等離子聚合SiO2,Si3N4或DLC及其他薄膜CNT和石墨烯的選擇性生長單晶或多晶金剛石生長微波模塊:NANO-MASTER高質(zhì)量長壽命遠(yuǎn)程微波源,頻率為2.45GH,微波發(fā)射功率可以自主調(diào)節(jié),微波反射功率可通過調(diào)節(jié)降低至發(fā)射功率的千分之一以內(nèi)。遠(yuǎn)程微波源,可實(shí)現(xiàn)無損傷缺陷的沉積或生長。設(shè)備腔體:水冷側(cè)壁,確保在高溫工藝下腔體外表面...

  • 2022-08-23

    主要用途:MEMS壓力傳感器加工工藝中光刻膠批量處理;去除有機(jī)或無機(jī)物,而無殘留;去膠渣、深刻蝕應(yīng)用;半導(dǎo)體晶圓制造中光刻膠及SU8工藝;平板顯示生產(chǎn)中等離子體預(yù)處理;太陽能電池生產(chǎn)中邊緣絕緣和制絨;先進(jìn)晶片(芯片)封裝中的襯底清潔和預(yù)處理;工作原理介紹:為了產(chǎn)生等離子,系統(tǒng)使用遠(yuǎn)程微波源。氧在真空環(huán)境下受高頻及微波能量作用,電離產(chǎn)生具有強(qiáng)氧化能力的游離態(tài)氧原子,它在高頻電壓作用下與光刻膠薄膜反應(yīng),反應(yīng)后生成的CO2和H2O通過真空系統(tǒng)被抽走。CF4氣體可以達(dá)到更快速的去膠速...

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