晶圓厚度/電阻率/PN摻雜型測(cè)量?jī)x MX6012是一款非接觸式晶圓厚度測(cè)量?jī)x器，可以用于表征晶圓的厚度、TTV、電阻率、P/N摻雜類型，是一款綜合型的測(cè)量設(shè)備。該型號(hào)測(cè)量?jī)x適用于200mm和300mm的硅片。

晶圓厚度/電阻率/PN摻雜型測(cè)量?jī)x MX6012專為硅片性能表征而設(shè)計(jì)，集成了非接觸式厚度測(cè)量、電阻率檢測(cè)及 P/N 型摻雜識(shí)別傳感器。除中心測(cè)量點(diǎn)外，每半次掃描范圍內(nèi)最多可設(shè)置 15 個(gè)附加測(cè)量點(diǎn)。設(shè)備支持選配 90° 旋轉(zhuǎn)后重復(fù)掃描功能，確保測(cè)量全面性。通過串行接口實(shí)現(xiàn)與 PC 的數(shù)據(jù)通信，配套提供功能強(qiáng)大的 MX-NT 操作軟件。該系統(tǒng)可無縫集成于自動(dòng)化機(jī)器人分選系統(tǒng)中，提升產(chǎn)線智能化水平。

操作原理與機(jī)械結(jié)構(gòu)

該測(cè)量?jī)x為一款緊湊型臺(tái)式設(shè)備，專用于對(duì)硅片厚度及電阻率進(jìn)行非接觸式測(cè)量。測(cè)量過程中，硅片將自動(dòng)傳送至儀器內(nèi)部。在傳送路徑上，依次經(jīng)過兩個(gè)電阻率傳感器和一個(gè)厚度傳感器，系統(tǒng)可在硅片中心及由測(cè)量配方預(yù)設(shè)的多個(gè)位置進(jìn)行采樣，橫向分辨率達(dá)1毫米。硅片可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)翻轉(zhuǎn)，最多支持18次掃描。在頂部指定位置，通過非接觸式P/N型傳感器對(duì)摻雜類型進(jìn)行判定。測(cè)量所得數(shù)據(jù)經(jīng)由儀器串行接口傳輸至Windows計(jì)算機(jī)，由配套軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與結(jié)果顯示。該軟件同時(shí)支持批次數(shù)據(jù)管理及報(bào)告打印功能（詳見MXNT說明文檔）。

測(cè)量原理

厚度：電容式傳感器

電阻率：渦流原理

摻雜類型：表面光電壓系統(tǒng)

主要技術(shù)參數(shù)

晶圓尺寸：200mm，300mm

厚度：600-900μm

最大翹曲：100μm

電阻率：0.001 – 200 Ohm·cm

摻雜類型檢測(cè)：0.020 – 200 Ohm·cm

軟件：MXNT